本發(fā)明涉及制造在低于或等于1600°c的溫度也可以制成燒結(jié)體的氮 化鋁粉末，獲得密度和熱傳導(dǎo)率高、可以適用于基板材料的氮化鋁燒 結(jié)體。使用如圖1所示氣相反應(yīng)裝置，反應(yīng)器⑵由加熱帶⑴進(jìn)行加 熱并保持在300?50(TC，一邊由流童調(diào)節(jié)計(3)調(diào)節(jié)，一邊通過供給 管(4)向反應(yīng)器(2)導(dǎo)入氨氣，同時，一邊通過流景調(diào)節(jié)計(5)調(diào)節(jié)， 一邊通過供應(yīng)管(6)導(dǎo)入含有機(jī)鋁化合物的氮氣。從而得到氮化鋁粉 末。將其在還原性氣體氛圍和/或惰性氣體氛圍中在1100?1500攝氏度進(jìn)行熱處理，對所得到氮化鋁凝集粉末再經(jīng)機(jī)械處理，成為比表面積值 大于等于30m/g、且平均粒子粒徑與比表面積換算的粒子粒徑的比率 小于等于10的氮化鋁粉末。